Hasil Pencarian katakunci : sensor film tipis

Pada halaman ini, anda dapat melihat dokumen-dokumen yang berkaitan dengan katakunci yang telah anda pilih. Untuk memilih katakunci lainnya, anda dapat memilih pada bagian kanan laman website ini.

SENSOR KELEMBABAN KINERJA TINGGI BERDASARKAN DELIQUESCENT SALT DIFUSI PI FILM
Penelitian ini menyajikan metode baru untuk meningkatkan kinerja penginderaan sensor kelembaban tipe kapasitif dengan menyebarkan garam deliquescent magnesium klorida (MgCl \ n2 \ n) ke dalam lapisan penginderaan PI yang tipis. PI sensing film pertama-tama berpola foto dan kemudian direndam ke dalam larutan garam anorganik MgCl \ n2 \ n untuk proses difusi garam. Karena MgCl \ n2 \ n cadangan garam pada kelembaban lebih tinggi dari 33% RH, daya serap air dan respons kelembaban dari sensor kelembaban yang diusulkan meningkat secara signifikan karena adanya jejak garam deliquescent dalam film sensor PI. Sensitivitas terukur dari sensor kelembaban yang diusulkan adalah 15 pF /% RH yang hingga 750 kali lipat lebih besar dari sensor kelembaban berbasis PI murni untuk kasus film penginderaan tebal 10-mum. Selain itu, sensitivitas yang diukur adalah 81 pF /% RH untuk kasus lapisan penginderaan tebal 40 mum hingga 810 kali lipat lebih besar dari sensor kelembaban murni berbasis PI. Metode yang diusulkan dalam penelitian ini layak untuk membuat sensor kelembaban kinerja tinggi berbasis MEMS dengan cara yang sederhana, andal, dan murah.